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真空計(Vacuum Gauge),又稱規(guī),是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。
1、用電離計檢漏時,示漏物質(zhì)應選用電離效果與殘余氣體有可能大差異者,電離效果包括電離率及電離電位兩者的綜合結(jié)果,一般用氫,氦,二氧化碳等。
2、用熱真空計檢漏時,示漏物質(zhì)可用氫,二氧化碳,丙酮。酒精等。一般說來,用氣體噴吹用液體覆蓋為好,因為液體往往會堵塞漏孔,還會污染真空系統(tǒng)或器件,熱真空計因為慣性大,反應慢,檢漏時巡噴速度不宜過快,并仔細觀察,認真判別是系統(tǒng)的壓強波動,儀器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物質(zhì)離開后,儀器指示恢復原狀的,才是真正的漏孔。熱真空計檢漏,要在它的測量范圍的真空度下,才能有效,即只適用于10-1——10-3托的真空度范圍。它哪呢過檢出最小漏孔為1*10-5托升/秒。
電離計的反應熱真空計快,但因示漏氣體在真空系統(tǒng)中建立足夠分壓需要較長時間,故巡噴速度亦不能太快。電離計能檢漏的壓力范圍,大致同于其測量范圍,故各種類型電離計各有其檢漏的壓力范圍。電離計能檢的最小可檢漏孔約為1*10-6——1*10-7托升/秒。
在真空計檢漏中,即使示漏氣體對著漏孔噴吹?;蛘呤韭┮后w涂于漏孔,實際上都不可避免要夾帶有空氣進去,即示漏物質(zhì)并沒有*取代空氣。帶進去的空氣一方面沖淡了示漏物質(zhì)的作用,另一方面還會引起不必要的讀數(shù)波動,因為混進的空氣分量時大時小。